INFICON Transpector APX останува водечки на пазарот Анализатор на преостанати гасови (RGA) за мониторинг на полупроводници и процесите на прикажување. INFICON знае дека клиентите за полупроводници и дисплеј имаат уникатни потреби, а најновата ревизија на Transpector APX овозможува поголема флексибилност за да се исполнат специфичните барања за апликација, истовремено одржувајќи водечка брзина и чувствителност на мерење во индустријата. Transpector APX е идеален монитор на процесот на RGA за полупроводнички процеси како што се ALD, CVD, PVD и Etch.
Специфичен дизајн на платформата за најдолг животен век на вашиот ALD или CVD процес за најдобра заштита на нафора и панели и оптимизација на процесот
ALD подготвен со брзини на мерење од над 550 точки на податоци во секунда Намален фаб отпечаток за 30% и полесна инсталација поради ne систем за пумпање со високи перформанси
Конфигурирачки HexBlock™ со INFICON комерцијален слој со до три влезови под притисок што може да
Производителот | Inficon |
---|---|
Земја | |
Број на дел | 969-800-G1S |